리가쿠-도호쿠대, X선 계측학 공동연구소 설립… 차세대 연구 인력 양성

김형석 기자

작성일 2026-08-30 18:01

리가쿠 홀딩스의 계열사인 엑스선 분석 시스템 글로벌 솔루션 파트너 리가쿠(Rigaku Corporation)와 도호쿠대학교(Tohoku University)가 지난 8월 1일, 도호쿠대학교 내에 '리가쿠-도호쿠대 초협력 연구소: 한계를 넘어서(Rigaku-Tohoku University Co-Creation Research Institute for X-ray Metrology: Beyond The Limits, 이하 연구소)'를 설립했다고 밝혔다. 연구소는 3년간의 초기 협력을 통해 엑스선 계측학 기술을 발전시키고 새로운 계측 방법을 개발하며 차세대 연구 인력을 양성할 계획이다. 성과에 따라 협력 기간은 연장될 수 있다.

반도체 산업이 점차 소형화, 다층화, 다양한 소재를 포함하는 방향으로 발전하면서 제조 공정은 더욱 복잡해지고 있다. 엑스선 계측학 기술은 안정적인 대량 생산을 지원하는 데 필수적인 고정밀 비파괴 분석을 위해 중요하지만, 미세 구조 평가 및 깊이 방향의 정확한 구조 분석 등 기존 기술은 한계에 도달하고 있다. 이러한 과제를 해결하기 위해서는 연파장 및 저에너지 엑스선인 연엑스선(soft X-rays)과 같은 새로운 계측 기술뿐만 아니라, 싱크로트론 방사광 시설과의 협력을 통해 강화된 역량이 요구된다. 또한, 첨단 엑스선 계측학을 체계적으로 이해하고 산업 및 연구 분야에 적용할 수 있는 전문가를 양성하는 것이 중요해지고 있다.

이러한 기술 및 인적 자원이라는 두 가지 과제를 해결하기 위해 차세대 싱크로트론 방사광 시설인 나노테라스(NanoTerasu)를 보유하고 정보 과학 분야를 선도하는 도호쿠대학교와 엑스선 계측학 분야의 전문성과 실적을 갖춘 리가쿠가 새로운 연구소를 설립한 것이다. '한계를 넘어서'라는 기치 아래 연구소는 기술 혁신과 인재 개발을 통합하여 엑스선 계측학의 현재 한계를 돌파하고자 한다.

연구소는 세 가지 주요 목표에 집중할 예정이다. 첫째, 연엑스선 분야의 나노테라스 강점을 활용하고, 도호쿠대학교의 정보 과학 전문성과 리가쿠의 기술 노하우를 통합하여 데이터 분석을 발전시킴으로써 미세 구조 계측 기술을 개발한다. 이를 통해 점점 더 정교해지는 계측 및 분석 요구를 충족하는 기술 기반을 구축하는 것을 목표로 한다. 둘째, 엑스선 계측학을 필요로 하는 광범위한 분야에서 협력 연구를 추진한다. 셋째, 엑스선 계측학 분야의 차세대 연구자 및 기술자를 양성한다.

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